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封閉式柔性壓阻式壓力傳感器的結(jié)構(gòu)變化體系
發(fā)布時(shí)間：2022-03-01 17:30:05點(diǎn)擊量：
可擴(kuò)展的、經(jīng)濟(jì)的、簡(jiǎn)單的、省時(shí)的和環(huán)境友好的柔性壓力傳感器的制造是開發(fā)柔性傳感器/電子產(chǎn)品的主要驅(qū)動(dòng)力，并且以這種方式制造精密的壓力敏感傳感器是當(dāng)前的挑戰(zhàn)。
在這里，我們用傳統(tǒng)的聚合物加工方法報(bào)道了一種具有上述特性的封閉式柔性壓阻式壓力傳感器。利用市售金屬絲網(wǎng)模板和轉(zhuǎn)印法制備了微結(jié)構(gòu)可定制的聚二甲基硅氧烷/碳納米結(jié)構(gòu)(PDMS/CNS)復(fù)合膜壓力傳感器。獲得具有面對(duì)面微結(jié)構(gòu)的適當(dāng)閉塞配置，派生的傳感器顯示出高壓力靈敏度（1.214 kPa-1)在微壓(<100 Pa)下，
具有超低檢測(cè)限(1.75 Pa)、快速響應(yīng)、超低工作電壓(0.1 V)，以及超過1700次循環(huán)的出色傳感穩(wěn)定性。具有可編程尺寸、形狀和靈敏度的壓力傳感器能夠以即時(shí)和精確的響應(yīng)區(qū)分不同形式和頻率的輸入壓力信號(hào)，從而在柔性電子產(chǎn)品中具有潛在應(yīng)用。
