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精密DJA71手動(dòng)位移滑臺(tái)
發(fā)布時(shí)間：2025-06-06 17:44:03點(diǎn)擊量：
DJA71手動(dòng)位移滑臺(tái)采用精密交叉滾柱導(dǎo)軌與千分尺微進(jìn)給系統(tǒng)，專為超精密光學(xué)與微納制造設(shè)計(jì)。其零膨脹陶瓷基座配合主動(dòng)溫控系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)±0.001mm的極端定位精度，熱穩(wěn)定性達(dá)±0.05μm/℃。適用于光刻機(jī)校準(zhǔn)、量子實(shí)驗(yàn)等納米級(jí)應(yīng)用場(chǎng)景，真空兼容版本可滿足10??Pa超凈環(huán)境需求。
產(chǎn)品特點(diǎn)：
1.原子級(jí)精度：激光干涉儀校準(zhǔn)導(dǎo)軌，分辨率0.0001mm（選配）
2.環(huán)境免疫：主動(dòng)溫控+磁懸浮隔振（振動(dòng)＜1nm RMS）
3.無接觸傳動(dòng)：可選壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器（納米步進(jìn)0.1nm）
4.極限潔凈：真空鍍膜導(dǎo)軌面（出氣率＜10?11Torr·L/s）
5.智能互聯(lián)：集成5G模塊實(shí)時(shí)上傳定位數(shù)據(jù)（±0.5μm同步精度）
