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臺面方型DJU01/DJU11手動位移滑臺
發(fā)布時間：2025-06-25 16:44:47點擊量：
臺面方型DJU01/DJU11系列手動位移滑臺采用高精度交叉滾柱導軌與微分頭驅(qū)動系統(tǒng)，專為超精密光學與微納制造設(shè)計。DJU01為標準型（±0.005mm），DJU11為增強型（±0.003mm），配備主動溫控系統(tǒng)，熱穩(wěn)定性達±0.2μm/℃，適用于光刻機校準、量子實驗等高精度場景。
產(chǎn)品特點：
（1）納米級精度：DJU11采用激光干涉儀校準，分辨率0.001mm
（2）溫度穩(wěn)定：低膨脹合金基座（DJU11主動溫控±0.1℃）
（3）無塵兼容：可選真空版本（10??Pa）
（4）智能監(jiān)測：DJU11內(nèi)置振動傳感器（靈敏度0.1μm）
（5）快速切換：模塊化設(shè)計支持壓電陶瓷驅(qū)動升級
