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千分尺進給型DIU01手動位移滑臺
發(fā)布時間：2025-06-26 17:31:19點擊量：
采用高精度千分尺直接驅(qū)動DIU01手動位移滑臺，配備精密交叉滾柱導軌，定位精度達±0.003mm，適用于微米級精密調(diào)節(jié)。主體采用硬質(zhì)氧化鋁合金，輕量化且剛性優(yōu)異，可選配微分頭實現(xiàn)0.5μm分辨率。廣泛應用于光學對準、半導體檢測、精密裝配等需要超高精度定位的領域。
一、產(chǎn)品特點
·千分尺直驅(qū)：消除傳動背隙，微調(diào)分辨率0.01mm（可選0.5μm）
·高剛性結構：整體硬質(zhì)氧化鋁合金，抗變形能力強
·超低摩擦導軌：交叉滾柱設計，運動平穩(wěn)無晃動
·模塊化接口：支持多軸堆疊或旋轉(zhuǎn)臺組合
二、性能參數(shù)
·重復定位精度：±0.003mm（恒溫環(huán)境下±0.002mm）
·最大負載：15kg（垂直安裝8kg）
·行程范圍：10-100mm（標準款），支持定制加長
·溫度敏感性：≤0.1μm/℃（配合隔熱選件可降至0.05μm/℃）
·千分尺規(guī)格：標配25mm行程，可選50mm長行程型號
三、核心應用
·激光干涉儀光路校準
·顯微物鏡精密對焦系統(tǒng)
·微電子元件裝配定位
·計量儀器標準量塊調(diào)整
