脈動壓力傳感器工作原理壓力轉(zhuǎn)換為電信號技術(shù)
發(fā)布時間：2024-04-18 09:41:22點(diǎn)擊量：
壓力脈動信號的采集任務(wù)是由感受壓力并轉(zhuǎn)換為與壓力成一定關(guān)系的電信號輸出的傳感器完成的。適合用于采集壓力脈動信號的兩種傳感器：應(yīng)變式壓為傳感器和壓阻式壓力傳感器。應(yīng)變式壓力傳感器在膜片上粘貼有應(yīng)變片，四片應(yīng)變片可以將脈動壓力轉(zhuǎn)換為電信號。一種壓阻式壓力傳感器，通過有限元應(yīng)力分析求得靈敏度高、線性又好的雙島硅膜片結(jié)構(gòu)；采用雙面對準(zhǔn)光刻工藝，各向異性腐蝕微機(jī)械加工制硅膜片等新技術(shù)，制造出表現(xiàn)好的傳感器。
壓力傳感器是能感受壓力信號，并能按照一定的規(guī)律將壓力信號轉(zhuǎn)換成可用的輸出的電信號的器件或裝置。壓力傳感器通常由壓力敏感元件和信號處理單元組成。按不同的測試壓力類型，壓力傳感器可分為表壓傳感器、差壓傳感器和絕壓傳感器。
